快科技10月9日消息，据CNews报道，俄罗斯已完成用于生产130纳米制程光刻机的第三阶段设计验收工作，该阶段验收证书已于2026年8月7日签署。 该130nm分辨率光刻机由“泽列诺格勒纳米技术中心”（Zelenograd Nano ...